（康飘飘、张宸铭/文图）近日，我院孵化参股企业河南碳真芯材科技有限公司研制的新一代915MHzMPCVD设备成功中标河南省超硬材料龙头企业黄河旋风的6英寸MPCVD设备批量采购订单，这一成果不仅标志着企业实现了从“技术尖兵”向“产业引擎”跨越的又一重要突破，更彰显了高精尖技术与行业标杆企业的深度协同，共同为河南省超硬材料产业高质量发展注入新动能。
新一代915MHzMPCVD设备
碳真芯材是我院红外薄膜与晶体研究所在金刚石相关领域的科技成果转化平台，研发的金刚石片突破大尺寸高性能金刚石热沉制备技术瓶颈，成功打破国外在大尺寸高端金刚石热沉领域的技术垄断，通过深耕自研微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）金刚石生长装备，实现装备、材料、应用整体解决方案可控。产品可用于新能源车SiC电驱系统、GaN射频功放模组等战略场景，提升功率密度以及器件寿命，助力解决我国第三代半导体产业链“热病”，对新能源汽车、新一代通信技术等国家战略产业形成重要技术支撑。
编辑&排版：杨贝
责任编辑：梅鹏飞
审核：张懿文、陈斌斌
