（韦国锦/文图）近日，第九届中国（国际）传感器创新创业大赛决赛在郑州举办。哈尔滨工业大学郑州高等研究院（以下简称“郑高院”）红外薄膜与晶体研究团队参赛项目“紫外晶钻——金刚石深紫外探测解决方案”，从全国800余项参赛作品中突围，斩获全国总决赛一等奖。
颁奖现场
本项目依托郑高院红外薄膜与晶体团队及院孵企业河南碳真芯材科技有限公司，实现了装备开发、金刚石生长、金属——半导体接触、器件开发与应用全链条自主知识产权化。针对传统金刚石光电探测器由于晶体品质差、缺乏可靠金属——半导体接触等关键难题，通过自研微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备生长高品质电子级单晶金刚石，并制备超低阻值欧姆接触，开发高性能金刚石深紫外探测器，核心技术指标达国际先进水平。可满足飞行器尾焰探测、高压电晕检测、光刻机剂量监测等高端领域对于深紫外探测的关键需求。
本次在全国性权威赛事中荣膺一等奖，是行业对郑高院技术创新实力与成果转化能力的高度认可。团队以深紫外探测领域“卡脖子”技术攻关为导向，完成了从原理创新到全链条自主研制的系统性突破，生动诠释了以真实产业需求牵引前沿技术攻关、以产学研用融合驱动成果转化的实践路径。作为校地协同创新的重要载体，郑高院将持续深化产学研用深度融合，为郑州区域传感器产业升级、河南省战略性新兴产业发展提供坚实技术支撑与实践参考，助力地方打造全国领先的传感器产业创新高地。
编辑&排版：杨贝
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